لیست اختراعات منصور محتشمي فر
در اين كار نوعي جديد از سنسور ميدان مغناطيسي با حساسيت بالا ساخته شد. با استفاده از لايه نشاني فلز پلاتين و مس بر روي سليكون در چند مرحله لايه نشاني به شيوه الكترون بيم و تبخير حرارتي و فرايند پخت ايجاد شد و در ميدان هاي مغناطيسي كمتر از 5 ميلي تسلا تغييرات جريان در نمونه مورد بررسي قرار گرفت (ساخت نمونه مطابق الگوهاي شكل 1 تا 5) شكل 6- نمايي از نمونه ساخته شده و نحوه اندازه يگري در آن را نشان مي دهد و در شكل 7 - نمودار جريان - ولتاژ نمونه با در ميدان هاي مغناطيسي كمتر از 6 ميلي تسلا رسم شده است شكل 8 و 9 نمودار مقاومت مغناطيسي بر حسب ولتاژ در ميدان هاي مغناطيسي كمتر از 5 ميلي تسلا در دو حالت (اعمال ميدان موازي با لايه از چپ به راست و راست به چپ ) نمايش مي دهد. در شكل 10 نمودار تغييرات جريان نمونه با ميدان مغناطيسي نشان داده شده است.
اين اختراع حوزه جديدي را در ساخت ميكروكانتيليورهاي دو ماده¬اي در زمينه فناوري ميكروماشين¬كاري را گشوده است و براي توليد حساسه¬هاي ميكروكانتيليوري از جنس SiO2/Al به روشي ارزان قيمت و با قابليت پياده¬سازي آسان به منظور استفاده در آشكارسازهاي مادون قرمز فاقد خنككننده بومي، با تكيه بر امكانات موجود در داخل كشور و با هدف دستيابي به فناوري ساخت آن بسيار مناسب است. در اين روش براي ساخت ميكروكانتيليورهاي دوماده¬اي از جنس SiO2/Al، از زدايشگر سيليكانDual doped TMAH استفاده شده است تا از آلومينيوم در برابر زدايشگرهاي سيليكان در فرآيند ساخت ميكروكاشين-كاري حجمي محافظت شود و با معلق¬سازي ميكروكانتيليورها به روش رهاسازي¬تر از پيچيدگي رهاسازي از لايه قرباني اجتناب شده است. با اين روش، توان توليد آشكارسازهاي مادون قرمز ميكروكانتيليوري بطور گسترده وجود دارد. كاربردهاي متنوعي براي اين اختراع مي¬توان در نظر گرفت كه به حوزه¬هاي نظامي، پزشكي، امنيتي و صنعتي ارجاع پيدا مي¬كند.
موارد یافت شده: 2